西安奕材获得实用新型专利授权:“压力测量装置”_实时
2026-11-06 06:16:03
来源:证券之星企业动态
根据企查查数据显示西安奕材(688783)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“压力测量装置”,专利申请号为CN202522660388.4,授权日为2026年11月6日。
专利摘要:本实用新型提供一种压力测量装置,应用于晶圆边缘抛光装置,边缘抛光装置包括抛光鼓,以及与抛光鼓枢接的多个连接杆,每个连接杆的两端分别设置有抛光垫和配重锤,压力测量装置包括:多个压力传感器,多个压力传感器与多个抛光垫一一对应设置,以用于实时监测对应的抛光垫对晶圆施加的压力,且多个压力传感器设置于抛光鼓上,以与抛光鼓同步转动。在旋转的抛光鼓上,模拟其内部离心配重机构的力学环境,将一个已知质量的测量用配重的离心力,通过一个受约束的杠杆机构,转化为对一个压力传感器的正压力进行测量,从而反推出在同等转速下,实际抛光机构所产生的离心压力,从而使得抛光垫施加于待抛光晶圆上的压力可测量。
今年以来西安奕材新获得专利授权110个,较去年同期增加了182.05%。结合公司2026年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.22亿元,同比减4.99%。
通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目13次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1684条;此外企业还拥有行政许可24个。
数据来源:企查查
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